仪器名称：半导体参数分析仪(Semiconductor Characterization System)

规格/型号：4200A-SCS

生产厂商：Tektronix

放置地点：厦门校区综合实验大楼B306

负责人：杜桂芬，张婉靖；电话：0592-6161598，邮箱：iac@hqu.edu.cn

一.主要应用：

4200A-SCS是一种可以量身定制，全面集成的参数分析仪，可以同步查看电流电压（I-V）、电容电压（C-V）和超快速脉冲式I-V特性。源测量单元拥有四象限功能，不仅可以提供电流，还可以吸收电流。在MOSFET、BJT晶体管，材料特性分析，非易失性存储设备，电阻率系数和霍尔效应测量，LED和OLED，纳米器件等领域广泛应用。

二.性能指标：

1.高分辨率源测试单元3个（SMU）；

2.电流前置放大器单元（电流可分辨到0.1fA，电流精度10fA）；

3.电容-电压测量单元（CVU）；

4. PMU 可执行三种超快速I-V测试：脉冲式I-V、瞬态 I-V和脉冲源；

5.半导体参数分析仪配备了探针台，共四个探针头，可实现如四探针法测电阻率等测试，同时探针台连接加热和冷却装置，可实现0℃~600℃的控温测试。