仪器名称：X射线光电子能谱仪

规格/型号：K-Alpha+

生产厂商：赛默飞

放置地点：厦门校区泛华科技大楼A108

负责人：王秋祥，毛扬帆，电话：0592-6161598,邮箱：iac@hqu.edu.cn

一、主要应用：

    Thermo Scientific™ K-Alpha+ X 射线光电子能谱仪 (XPS) 系统是一种完全集成式单色小光斑XPS系统，具备XPS常规扫描、元素鉴定、价态分析、定量分析、微区成像、角分辨ARXPS、离子刻蚀、深度剖析、UPS等功能，能够系统地表征材料表面的成分、元素和价态等信息，广泛应用于在材料科学、化学化工、催化科学、薄膜研究和微电子技术等领域。K-Alpha X射线XPS系统最先进的性能、更高的易用性以及紧凑的尺寸，是广大科研工作者的理想选择。

二、性能指标：

1. 能量分辨率：优于0.45 eV；

2. 灵敏度：4.0 Mcps@1.0 eV0.05-5.00 nm；

3. 新型低能离子+电子混合中和源；

4. EX06离子刻蚀枪 100-1000 eV，400 um-1 mm，最大刻蚀电流5 uA；

5. 60×60 mm超大样品架；

三、样品要求：

1. 样品必须充分干燥；

2. 不接受低熔点或易分解的样品；

3. 谢绝磁性、毒性、放射性、易升华样品;

4. 粉末样品须压片；金属及其它片块状样品不超过5*5*3 mm；

5. 样品若需回收请注明，粉末样品一般不予回收。